EN 62047-2-2006 半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-19 12:26:20 浏览:8794
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【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part2:Tensiletestingmethodofthinfilmmaterials(IEC62047-2:2006);GermanversionEN62047-2:2006
【原文标准名称】:半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
【标准号】:EN62047-2-2006
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2007-02
【实施或试行日期】:2007-02-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:组件;材料;微电子学;微系统技术;特性;试样;半导体器件;规范(验收);符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验条件;试验装置;薄膜;薄膜技术
【英文主题词】:Components;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Samples;Semiconductordevices;Specification(approval);Symbols;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingconditions;Testingdevices;Thinfilms;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40;L94
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
【标准号】:EN62047-2-2006
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2007-02
【实施或试行日期】:2007-02-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:组件;材料;微电子学;微系统技术;特性;试样;半导体器件;规范(验收);符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验条件;试验装置;薄膜;薄膜技术
【英文主题词】:Components;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Samples;Semiconductordevices;Specification(approval);Symbols;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingconditions;Testingdevices;Thinfilms;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40;L94
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语
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